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XP-703D半(bàn)導體特氣(qì)檢漏(lòu)儀（自動吸(xī)引(yǐn)式）

  • 簡單(dān)描述(shù)
  • Z適合於檢(jiǎn)測(cè)半(bàn)導(dǎo)體特(tè)氣(qì)的(dí)微量泄漏。
    采用聲光報警。
  • 更(gēng)新時(shí)間：  2025-09-20
  • 產(chǎn)品型(xíng)號：  
詳(xiáng)細介(jiè)紹

XP-703D半(bàn)導體(tǐ)特氣檢(jiǎn)漏儀（自(zì)動吸引式）

於檢測半導體特氣(qì)的微(wēi)量(liáng)泄(xiè)漏(lòu)。
 采用聲(shēng)光報(bào)警。

XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自(zì)動(dòng)吸引式(shì)）技術參數(shù)：

型 號

XP-703D

檢(jiǎn)測對(duì)象氣(qì)體(tǐ)

半導(dǎo)體(tǐ)材料氣(qì)體(tǐ)（胂，膦，乙硼烷，矽烷(wán)，氫氣等）

檢測(cè)原(yuán)理

型半導體(tǐ)式

采樣方(fāng)式(shì)

自(zì)動吸(xī)引(yǐn)式

可檢測(cè)濃度 
（單(dān)位(wèi)：ppm）

砷烷(wán) 磷烷 乙硼(péng)烷 矽烷(wán) 氫氣 
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢(jiǎn)測表示

蜂(fēng)鳴(míng)器斷續(xù)鳴(míng)響(xiǎng)及(jí)指(zhǐ)示燈(dēng)閃(shǎn)爍(shuò)

應答速度

10秒(miǎo)以內


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