RTS-8型數(shù)字(zì)式四探(tàn)針測試(shì)儀
1.恒流源電流量程分為(wéi)1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA六檔(dàng)；
2.可連(lián)接電(diàn)腦使用也(yě)可(kě)以不(bù)連(lián)接(jiē)電腦(nǎo)使用(yòng)，連(lián)接電(diàn)腦(nǎo)使用(yòng)帶(dài)自動測(cè)量功能，自動(dòng)選擇(zé)適合樣(yàng)品(pǐn)測(cè)試(shì)電(diàn)流量程；
3.高(gāo)速(sù)並(bìng)口通訊接口，連(lián)接電腦使(shǐ)用時采(cǎi)集(jí)數據(jù)到電(diàn)腦(nǎo)的(dí)時(shí)間隻需要(yào)1.5秒(miǎo)（在(zài)0.1mA，1mA，10mA，100mA量程檔(dàng)時）；
RTS-8型數字式(shì)四探(tàn)針測(cè)試儀是(shì)運(yùn)用四(sì)探(tàn)針測量原理(lǐ)的(dí)多用途(tú)綜合(hé)測量設備。該(gāi)儀(yí)器按照(zhào)單晶矽物(wù)理(lǐ)測試(shì)方法國家標準(zhǔn)並參考美國 A.S.T.M 標準(zhǔn)而(ér)設計(jì)的(dí)，於測試(shì)半導體材料電(diàn)阻率(shuài)及(jí)方塊電(diàn)阻(薄層電阻(zǔ))的儀(yí)器。
儀器由主機，測(cè)試台(tái)，四(sì)探針探頭，計算(suàn)機(jī)等部(bù)分(fēn)組成(chéng)，測(cè)量數據既(jì)可由主(zhǔ)機直(zhí)接(jiē)顯示，亦(yì)可由計算(suàn)機控製(zhì)測試采集測試(shì)數據(jù)到(dào)計算(suàn)機中(zhōng)加以分(fēn)析，然後以表格(gé)，圖(tú)形方式統計(jì)分(fēn)析(xī)顯示測試結果(guǒ)。
儀(yí)器(qì)采用了(liǎo)電子技術(shù)進行(háng)設(shè)計，裝配(pèi)。具(jù)有(yǒu)功能(néng)選擇(zé)直觀，測量(liáng)取(qǔ)數快，精度(dù)高(gāo)，測量範(fàn)圍寬，穩定性好(hǎo)，結(jié)構(gòu)緊(jǐn)湊(còu)，易(yì)操(cāo)作(zuò)等特點。
本(běn)儀(yí)器(qì)適用(yòng)於半導(dǎo)體(tǐ)材(cái)料廠，半(bàn)導體器件(jiàn)廠(chǎng)，科研單位，高(gāo)等(děng)院(yuàn)校(xiào)對半導體(tǐ)材(cái)料的電(diàn)阻性(xìng)能(néng)測試。
RTS-8型四探(tàn)針軟件(jiàn)測試(shì)係(xì)統是一個(gè)運(yùn)行在計算機上(shàng)擁有(yǒu)友好測(cè)試(shì)界(jiè)麵(miàn)的用戶程(chéng)序(xù)，通過此測試程序(xù)輔(fǔ)助使(shǐ)用戶簡便地(dì)進(jìn)行(háng)各(gè)項測試及獲得(dé)測(cè)試(shì)數(shù)據(jù)並對(duì)測(cè)試數據進行統(tǒng)計(jì)分(fēn)析(xī)。
測(cè)試程序控(kòng)製四探針(zhēn)測試儀進(jìn)行測(cè)量並(bìng)采(cǎi)集(jí)測(cè)試(shì)數(shù)據，把(bǎ)采集到的(dí)數(shù)據(jù)在計算機中加以分析(xī)，然後(hòu)把測試(shì)數據以表格，圖形直觀地記錄，顯(xiǎn)示(shì)出來。用(yòng)戶(hù)可對采集(jí)到(dào)的數(shù)據(jù)在電腦中(zhōng)保存(cún)或者打印(yìn)以備日(rì)後(hòu)參(cān)考和(hé)查看，還(huán)可(kě)以把(bǎ)采集到的(dí)數據輸(shū)出(chū)到(dào)Excel中，讓(ràng)用戶對數據進行(háng)各種數據分(fēn)析
技術(shù)參數：
測量範(fàn)圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)； 方(fāng)塊電阻(zǔ)：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展(zhǎn))； 電導率(shuài)：10-5～105 s/cm； 電(diàn)阻(zǔ)：10-5～105 Ω； |
可測(cè)晶(jīng)片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試(shì)台(tái))； 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試(shì)台)； 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試台)； |
恒(héng)流(liú)源 | 電流量程(chéng)分為1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA六(liù)檔(dàng)，各(gè)檔(dàng)電流(liú)連續(xù)可(kě)調 |
數(shù)字電壓表 | 量程及(jí)表(biǎo)示(shì)形式(shì)：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入(rù)阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯(xiǎn)示：四位半紅(hóng)色發(fā)光(guāng)管(guǎn)數(shù)字顯示(shì)；極性，超(chāo)量程自動顯示； |
四(sì)探針(zhēn)探(tàn)頭基本指(zhǐ)標 | 間距：1±0.01mm； 針間絕(jué)緣電阻：≥1000MΩ； 機械(xiè)遊(yóu)移率：≤0.3%； 探針：碳化(huà)鎢或(huò)高速(sù)鋼Ф0.5mm； 探(tàn)針壓(yā)力(lì)：5～16 牛頓(dùn)(總力)； |
四(sì)探針(zhēn)探頭(tóu)應用(yòng)參數(shù) | (見探頭(tóu)附(fù)帶(dài)的(dí)合格證) |
模擬(nǐ)電(diàn)阻測量(liáng)相對(duì)誤(wù)差 | 0.01Ω，0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω，1000Ω，10000Ω≤0.3%±1字(zì) |
整機(jī)測量zui大(dà)相對誤(wù)差(chà) | (用(yòng)矽標樣片(piàn)：0.01-180Ω.cm測(cè)試(shì))≤±5% |
整(zhěng)機測(cè)量標準(zhǔn)不確定(dìng)度 | ≤5% |
測試模(mó)式(shì) | 可連接電腦(nǎo)測(cè)試(shì)也可不連接電(diàn)腦測試(shì) |
軟(ruǎn)件功能（選(xuǎn)配(pèi)） | 軟件可記錄，保存，打(dǎ)印(yìn)每一(yī)點的測試(shì)數據，並(bìng)統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大(dà)值，zui小值(zhí)，平均(jūn)值，zui大(dà)百(bǎi)分變化(huà)，平均百分(fēn)變(biàn)化，徑向(xiàng)不(bù)均(jūn)匀度(dù)，並將數(shù)據生成直方圖，也(yě)可(kě)把(bǎ)測試(shì)數(shù)據輸出(chū)到Excel中，對數(shù)據進(jìn)行各種(zhǒng)數據分(fēn)析(xī)。軟件還(huán)可(kě)選(xuǎn)擇自動(dòng)測(cè)量(liáng)功能(néng)，根(gēn)據(jù)樣品電阻大小(xiǎo)自動選(xuǎn)擇(zé)適合電流量程檔測(cè)試。 |
計算機(jī)通訊接(jiē)口 | 並口(kǒu)，高速並(bìng)行采(cǎi)集數據，連接(jiē)電腦(nǎo)使用(yòng)時采(cǎi)集(jí)數據到電(diàn)腦(nǎo)的(dí)時間隻(zhī)需要(yào)1.5 秒(miǎo)（在(zài) 0.1mA，1mA，10mA，100mA量程(chéng)檔(dàng)時(shí)）。 |
標準(zhǔn)使(shǐ)用(yòng)環(huán)境 | 溫度(dù)：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高(gāo)頻(pín)幹擾； 無(wú)強光直(zhí)射(shè)； |
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