RTS-4型(xíng)數字(zì)式(shì)四(sì)探(tàn)針測試(shì)儀
可連接電(diàn)腦(nǎo)使(shǐ)用(yòng)也可(kě)以不連(lián)接(jiē)電(diàn)腦使(shǐ)用，連接電腦(nǎo)使用(yòng)帶自(zì)動(dòng)測量功能，自動(dòng)選擇(zé)適(shì)合樣品測試電流量(liáng)程；
高速並口通訊接口，連(lián)接電腦使用時(shí)采(cǎi)集數據(jù)到電(diàn)腦(nǎo)的時間隻(zhī)需要(yào)1.5秒(miǎo)；
RTS-4型(xíng)數(shù)字式四(sì)探(tàn)針測試儀是運用四(sì)探針(zhēn)測量原(yuán)理的(dí)多用(yòng)途綜(zōng)合測量(liáng)設備。該儀(yí)器(qì)按(àn)照單(dān)晶矽物(wù)理(lǐ)測(cè)試方(fāng)法(fǎ)國家(jiā)標準(zhǔn)並(bìng)參考(kǎo)美國 A.S.T.M 標準而(ér)設計的，於(yú)測(cè)試半(bàn)導(dǎo)體材(cái)料電(diàn)阻(zǔ)率及方塊電阻(薄(báo)層(céng)電阻)的(dí)儀(yí)器。
儀器由主機，測(cè)試(shì)台，四探針探(tàn)頭(tóu)，計算(suàn)機(jī)等部分組成(chéng)，測量數據(jù)既可(kě)由主機(jī)直接顯(xiǎn)示(shì)，亦(yì)可由(yóu)計算(suàn)機控(kòng)製(zhì)測試采(cǎi)集測(cè)試(shì)數據(jù)到(dào)計算(suàn)機中加以分析(xī)，然後以表格，圖形方式統計(jì)分析顯示測試(shì)結果(guǒ)。
儀器采用了(liǎo)電子(zǐ)技術進(jìn)行設(shè)計，裝配。具(jù)有功(gōng)能(néng)選(xuǎn)擇直(zhí)觀(guān)，測量取數(shù)快(kuài)，精度高，測量範(fàn)圍(wéi)寬，穩定性好，結(jié)構緊(jǐn)湊，易操(cāo)作(zuò)等特點。
本(běn)儀器適用於(yú)半導體材料廠(chǎng)，半(bàn)導(dǎo)體器件廠(chǎng)，科研(yán)單(dān)位，高(gāo)等(děng)院校對半(bàn)導體材料的電(diàn)阻性能(néng)測(cè)試(shì)。
RTS-4型四(sì)探針(zhēn)軟件測(cè)試係(xì)統是一個(gè)運行(háng)在計(jì)算(suàn)機上擁有(yǒu)友好(hǎo)測(cè)試界麵的(dí)用戶程序(xù)，通過此(cǐ)測試程序輔助使用戶簡便地進行(háng)各(gè)項(xiàng)測(cè)試(shì)及(jí)獲得(dé)測試數據(jù)並對(duì)測(cè)試數(shù)據進行統(tǒng)計分析(xī)。
測試(shì)程序(xù)控製四(sì)探(tàn)針(zhēn)測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量(liáng)並(bìng)采集(jí)測試數據，把采(cǎi)集到(dào)的數(shù)據在計算機中(zhōng)加(jiā)以(yǐ)分(fēn)析(xī)，然(rán)後把(bǎ)測試(shì)數據以表(biǎo)格，圖形直觀地(dì)記錄(lù)，顯示(shì)出來。用戶(hù)可對采集到的(dí)數(shù)據在(zài)電腦中(zhōng)保(bǎo)存(cún)或者打印以備(bèi)日後參考和(hé)查(chá)看，還(huán)可以(yǐ)把采(cǎi)集到(dào)的數(shù)據(jù)輸(shū)出(chū)到(dào)Excel中，讓用戶對(duì)數據(jù)進行各種(zhǒng)數據分析
技術參數：
測量(liáng)範圍(wéi) | 電(diàn)阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴展)； 方(fāng)塊電(diàn)阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)； 電(diàn)導率：0.0005～10000 s/cm； 電(diàn)阻：0.0001～2000Ω.cm； |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試台(tái))； 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試(shì)台)； 400mmX500mm(配(pèi)S-2C型(xíng)測試台)； |
恒(héng)流源 | 電流(liú)量(liáng)程分(fēn)為(wéi)0.1mA，1mA，10mA，100mA四檔，各檔(dàng)電流連續(xù)可調 |
數字(zì)電(diàn)壓表 | 量程(chéng)及(jí)表(biǎo)示形式(shì)：000.00～199.99mV； 分(fēn)辨(biàn)力(lì)：10μV； 輸(shū)入阻抗(kàng)：>1000MΩ； 精度(dù)：±0.1% ； 顯示：四位半(bàn)紅色發(fā)光管(guǎn)數字(zì)顯示；極性(xìng)，超(chāo)量(liáng)程自動顯示； |
四探針探頭基(jī)本(běn)指標 | 間(jiān)距：1±0.01mm； 針(zhēn)間絕(jué)緣(yuán)電阻：≥1000MΩ； 機械(xiè)遊(yóu)移率：≤0.3%； 探針：碳(tàn)化鎢或(huò)高(gāo)速鋼Ф0.5mm； 探(tàn)針壓(yā)力(lì)：5～16 牛頓(總力)； |
四探針(zhēn)探頭(tóu)應用(yòng)參數 | (見探頭(tóu)附帶的合(hé)格證(zhèng)) |
模擬電阻測量相(xiāng)對(duì)誤差 | 0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω小於(yú)等於0.3%±1字(zì) |
整(zhěng)機(jī)測量(liáng)zui大相對誤(wù)差 | (用矽標樣(yàng)片：0.01-180Ω.cm測試(shì))≤±5% |
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不(bù)確定度 | ≤5% |
測試(shì)模(mó)式 | 可連接電(diàn)腦測(cè)試(shì)也(yě)可(kě)不連接電腦測試(shì) |
軟(ruǎn)件功能(néng)（選(xuǎn)配） | 軟件可(kě)記錄(lù)，保存，打(dǎ)印每(měi)一點的測試(shì)數據(jù)，並統計(jì)分析(xī)測試數據zui大值，zui小值，平均(jūn)值，zui大百(bǎi)分變(biàn)化，平(píng)均百(bǎi)分變化(huà)，徑(jìng)向不均匀度，並(bìng)將(jiāng)數據(jù)生成直(zhí)方圖，也可把(bǎ)測(cè)試(shì)數(shù)據(jù)輸出到(dào)Excel中，對數據進行各種(zhǒng)數據分(fēn)析(xī)。軟件還可(kě)選擇自動(dòng)測量(liáng)功(gōng)能，根(gēn)據(jù)樣品電阻(zǔ)大小自動選(xuǎn)擇適(shì)合電流量(liáng)程檔測試(shì)。 |
計算機(jī)通訊接口(kǒu) | 並(bìng)口，高速並行采集數據，連(lián)接電腦(nǎo)使(shǐ)用(yòng)時(shí)采(cǎi)集數據(jù)到電(diàn)腦(nǎo)的時間隻需(xū)要1.5秒 |
標(biāo)準使用(yòng)環境(jìng) | 溫(wēn)度(dù)：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻幹擾(rǎo)； 無強光(guāng)直(zhí)射； |
| 配置 | 四探針(zhēn)測(cè)試(shì)儀(yí)主機(jī)，S-2B型探(tàn)針台，FT-201四探針探頭 | 13000/套(tào) | ||||||
| 配置(zhì) | 四(sì)探針(zhēn)測試儀主(zhǔ)機，S-2B型探(tàn)針(zhēn)台，FT-201四(sì)探(tàn)針(zhēn)探頭，測試軟件(含(hán)測(cè)控模(mó)塊(kuài)) | 17000/套(tào) | ||||||
| 配置 | 四探針測(cè)試儀(yí)主機，S-2B型(xíng)探(tàn)針(zhēn)台(tái)，FT-201四探針探(tàn)頭，台(tái)式(shì)電腦(nǎo) | 22000/套 | ||||||
| 備注 | 用(yòng)戶(hù)可按(àn)實(shí)際需要選擇配(pèi)置，電腦可按(àn)用(yòng)戶要求以(yǐ)市(shì)場價配置或(huò)自(zì)行(háng)購置安(ān)裝測試(shì)軟件即(jí)可 | |||||||
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