SDY-4型(xíng)四(sì)探針測試儀

SDY-4型(xíng)四(sì)探(tàn)針(zhēn)測試儀(yí)是根據(jù)單(dān)晶(jīng)矽(guī)物理(lǐ)測(cè)試(shì)方(fāng)法國家標準(zhǔn)並(bìng)參考美(měi)國A.S.T.M標(biāo)準設計(jì)的(dí)半導(dǎo)體(tǐ)材(cái)料(liào)電(diàn)阻(zǔ)率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器.
    儀器(qì)以(yǐ)大(dà)規模集成(chéng)電路(lù)為核心(xīn)部(bù)件,采用平麵輕觸(chù)式(shì)開關控製,及各種(zhǒng)工作狀態LED指示.應(yīng)用微(wēi)計算機(jī)技(jì)術(shù)，利用(yòng)HQ-710E型測量(liáng)數據(jù)處理(lǐ)器，使(shǐ)得測(cè)量讀數(shù)更(gēng)加直(zhí)觀(guān)，快速，並(bìng)能實(shí)現(xiàn)晶(jīng)片(piàn)厚度自行修正(zhèng)，打印(yìn)出(chū)全(quán)部預(yù)置(zhì)和測量(liáng)，計算數(shù)據。整套儀(yí)器(qì)體積小，功耗低，測量(liáng)精度高，測試速度(dù)快，穩定(dìng)性(xìng)好(hǎo)，易(yì)操(cāo)作。
    SDY4四探(tàn)針測試儀 本儀器(qì)可滿足半(bàn)導體(tǐ)材料，器件的(dí)研(yán)究生(shēng)產(chǎn)單位對(duì)材料(liào)(棒(bàng)材(cái)，片材)電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)及擴散層，離(lí)子注入層，異型外(wài)延(yán)層和(hé)導(dǎo)電薄膜方塊(kuài)電阻(zǔ)測量(liáng)的(dí)需要。

技術指(zhǐ)標(biāo)
1 測量範(fàn)圍(wéi): 電阻率(shuài):0.001-200Ω.cm(可(kě)擴展);
　　　　　　方(fāng)塊電阻:0.01-2000Ω/口(可(kě)擴(kuò)展(zhǎn));
2 可測晶(jīng)片直徑(zui大(dà)):100mm(配(pèi)J-2B型(xíng)手(shǒu)動測試台(tái))
　　　　　　　　　　  200mm(配J-51型(xíng)手動測(cè)試台)
3 恒流源:電流量程(chéng)分為0.1，1，10，100(mA)四(sì)檔(dàng),各(gè)檔電(diàn)流連(lián)續可調.誤(wù)差<±0.3%
4 數字電壓表:
量程(chéng):0-199.99mV; 分辨(biàn)率:10μV
顯示(shì):四位(wèi)半紅(hóng)色發光管數字(zì)顯示;極(jí)性，小(xiǎo)數點(diǎn)，超(chāo)量程(chéng)自動顯示。
輸入(rù)阻(zǔ)抗(kàng)>1000MΩ; 精度:±0.1%.
5 zui大(dà)電(diàn)阻(zǔ)測(cè)量誤差(按(àn)JJG508-87進(jìn)行):0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω小(xiǎo)於(yú)等(děng)於0.3%±1字.
6 四(sì)探針(zhēn)探頭:
間距:1±0.01mm;針間(jiān)絕(jué)緣(yuán)電(diàn)阻≥1000MΩ;機械(xiè)遊(yóu)移(yí)率:≤0.3%
探(tàn)針壓(yā)力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力(lì)) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(dùn)(總力)
7 整機不(bù)確定度:(用矽標(biāo)樣(yàng)片(piàn)測試)≤5% (0.01-180Ω.cm)
8 外(wài)形尺(chǐ)寸:電氣主(zhǔ)機:360mm×320mm×100mm；數(shù)據(jù)處(chǔ)理(lǐ)器：300mm×210mm×105mm
9 數據處(chǔ)理器(qì)功(gōng)能(néng):
A 鍵盤控(kòng)製(zhì)測量(liáng)取(qǔ)數,自(zì)動進行(háng)電流(liú)換(huàn)向,並進(jìn)行正反向電流下的(dí)電(diàn)阻率(shuài)(或方塊(kuài)電阻)測(cè)量,顯示出平均值.測(cè)薄片時,可(kě)自(zì)動(dòng)進(jìn)行(háng)厚(hòu)度修正(zhèng);
B 鍵盤控製(zhì)數據處理(lǐ),運(yùn)算電(diàn)阻(zǔ)率(shuài)平均(jūn)值和(hé)電(diàn)阻率值(zhí)zui大百分變化(huà)及平均百(bǎi)分(fēn)變(biàn)化(huà);
C 鍵盤(pán)控(kòng)製打印(yìn)全(quán)部測(cè)量(liáng)數據.測(cè)量(liáng)條件，zui大(dà)電阻率(shuài)值，zui小(xiǎo)電(diàn)阻率值(zhí)，電阻(zǔ)率(shuài)zui大百(bǎi)分變(biàn)化(huà)及平均百分(fēn)變化。
10 儀器(qì)重(zhòng)量：電氣主機：約4kg；測試(shì)台：約10kg，數(shù)據處理(lǐ)器：約2.5kg
11 測試(shì)環境：溫度23±2℃；相(xiāng)對(duì)濕(shī)度≤65％；無高頻(pín)幹擾(rǎo)；無強光(guāng)照射。 

配(pèi)置(zhì)

四(sì)探(tàn)針測試(shì)儀主機，J-2B測試架，TZT-9D四(sì)探針(zhēn)探頭

14000/套配置(zhì)

四探針測試(shì)儀主機(jī)，J-2B測(cè)試架，TZT-9D四探(tàn)針(zhēn)探頭(tóu)，710E型(xíng)微處理(lǐ)器

19600/套