RTS-2/RTS-2A型(xíng)便(biàn)攜式四(sì)探(tàn)針(zhēn)測試(shì)儀是運(yùn)用四(sì)探(tàn)針(zhēn)測(cè)量原(yuán)理的多(duō)用(yòng)途綜(zōng)合測量(liáng)設備。該儀器按(àn)照(zhào)單(dān)晶矽物理測試方法(fǎ)國(guó)家標準(zhǔn)並(bìng)參考(kǎo)美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，於(yú)測量矽(guī)晶塊，晶片電阻率及擴散(sàn)層，外延層，ITO導(dǎo)電(diàn)箔膜(mó)，導電橡膠(jiāo)等材料方(fāng)塊電(diàn)阻的小型儀(yí)器(qì)。
儀器采(cǎi)用(yòng)了電(diàn)子(zǐ)技術進行(háng)設(shè)計，裝配。具有功能選擇(zé)直觀(guān)，測(cè)量(liáng)取數快，精度(dù)高，測量範圍(wéi)寬(kuān)，穩定性(xìng)好(hǎo)，結構緊(jǐn)湊，易(yì)操作(zuò)等特點。如有需(xū)要可加(jiā)配測試台使(shǐ)用(yòng)。
本儀(yí)器廣泛應用於太陽(yáng)能單晶(jīng)（多晶）生產廠家為(wéi)矽(guī)材(cái)料的(dí)分(fēn)選(xuǎn)測(cè)試，半導體(tǐ)材料(liào)廠(chǎng)，半導(dǎo)體(tǐ)器件(jiàn)廠，科研單位，高等院(yuàn)校對半(bàn)導體材料的電阻(zǔ)性能測(cè)試。
便攜(xié)式(shì)四(sì)探針測試(shì)儀按(àn)測(cè)量範圍可(kě)選配RTS-2型(xíng)或(huò)RTS-2A型，區別(bié)：測量(liáng)範圍不(bù)一(yī)樣(yàng)。
技術(shù)參(cān)數：
RTS-2測量範圍(wéi) | 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方塊電阻：0.1～19999Ω/□； |
RTS-2A測量(liáng)範圍(wéi) | 電阻(zǔ)率：0.001～199.99Ω.cm； 方塊電阻(zǔ)：0.01～1999.9Ω/□； |
RTS-2恒流源 | 電流(liú)量(liáng)程(chéng)分為100μA，1mA兩檔(dàng)，各檔電(diàn)流(liú)連續可調(tiáo) |
RTS-2A恒流(liú)源(yuán) | 電流(liú)量程分為1mA，10mA兩(liǎng)檔，各檔電流連續可(kě)調(tiáo) |
數(shù)字電壓(yā)表 | 量(liáng)程(chéng)及(jí)表(biǎo)示(shì)形式：000.00～199.99mV； 分辨(biàn)力：10μV； 輸入(rù)阻(zǔ)抗：>1000MΩ； 精(jīng)度：±0.1% ； 顯(xiǎn)示(shì)：四位半紅(hóng)色(sè)發光管數(shù)字顯(xiǎn)示(shì)；極性，超量(liáng)程自動(dòng)顯示； |
四(sì)探(tàn)針探頭基本指(zhǐ)標(biāo) | 間(jiān)距：1±0.01mm； 針(zhēn)間絕(jué)緣電阻：≥1000MΩ； 機械遊移率：≤0.3%； 探(tàn)針(zhēn)：碳(tàn)化(huà)鎢(wū)或高速(sù)鋼Ф0.5mm； 探針(zhēn)壓(yā)力：5～16 牛(niú)頓(總力(lì))； |
四探針探(tàn)頭(tóu)應用(yòng)參(cān)數(shù) | (見(jiàn)探頭附(fù)帶(dài)的(dí)合(hé)格(gé)證(zhèng)) |
模擬電(diàn)阻測量(liáng)相(xiāng)對(duì)誤差(chà) | 1Ω，10Ω，100Ω小於(yú)等於(yú)0.3%±1字 |
整(zhěng)機測(cè)量zui大(dà)相對誤(wù)差 | (用(yòng)矽標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機(jī)測量標準(zhǔn)不確定(dìng)度(dù) | ≤5% |
外型尺寸(cùn) | 125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深) |
標(biāo)準使(shǐ)用環境 | 溫度：23±2℃； 相對濕(shī)度：≤65%； 無高頻幹擾； 無強(qiáng)光直射； |
| 配置 | 四探(tàn)針測試(shì)儀(yí)主機，FT-202型四探針探(tàn)頭(tóu) | 4500/套 | ||||||
| 配置 | 四(sì)探(tàn)針測(cè)試儀主機(jī)，FT-202型四探針探(tàn)頭(tóu)，S-2B型測試台 | 5800/套 | ||||||
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