SDY-5型(xíng)雙(shuāng)電測四(sì)探(tàn)針測試儀采(cǎi)用(yòng)了(liǎo)四(sì)探(tàn)針雙(shuāng)位組(zǔ)合測(cè)量技術,利用(yòng)電(diàn)流(liú)探針
，電壓探針(zhēn)的變換(huàn)，進(jìn)行兩次電測量，能自動(dòng)消(xiāo)除樣品幾何尺(chǐ)寸
，邊界效應(yīng)以及(jí)探針不等(děng)距和(hé)機(jī)械遊(yóu)移(yí)等(děng)因素(sù)對(duì)測(cè)量結果的(dí)影(yǐng)響，從而提高了(liǎo)測量結果的(dí)準確(què)度(dù)
    使用本儀(yí)器進行(háng)測量(liáng)時，由(yóu)於不需要(yào)進(jìn)行(háng)幾(jī)何邊(biān)界條(tiáo)件和(hé)探(tàn)針(zhēn)間距的修正(zhèng)，因(yīn)而對(duì)各(gè)種(zhǒng)形狀的薄膜材料(liào)及(jí)片狀材(cái)料有廣(guǎng)泛(fàn)的適(shì)用(yòng)性(xìng)。儀(yí)器特別適(shì)用(yòng)於測(cè)量片狀半導體材料電阻率以(yǐ)及矽(guī)擴(kuò)散(sàn)層(céng)
，離(lí)子(zǐ)注入層
，異型外延層(céng)等半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)器件(jiàn)和液晶片導電(diàn)膜
，電熱膜(mó)等薄層(膜(mó))的(dí)方(fāng)塊(kuài)電阻(zǔ).
    儀器以大規模集(jí)成電(diàn)路(lù)為核心部(bù)件,特(tè)別(bié)采用(yòng)了平(píng)麵輕(qīng)觸(chù)式開關(guān)設計(jì)和(hé)各種工作狀態(tài)LED指(zhǐ)示.並(bìng)應用了微計算機(jī)技術(shù),利用HQ-710F型微(wēi)計(jì)算(suàn)機作為(wéi)測(cè)量控製(zhì)及(jí)數(shù)據處理(lǐ)器,使得(dé)測量(liáng)
，計算(suàn)
，讀數更(gēng)加(jiā)直觀(guān)
，快(kuài)速，並(bìng)能(néng)打印全(quán)部(bù)預置和(hé)測量數據。

技術(shù)指標(biāo)：
1
，測量(liáng)範(fàn)圍：電阻率：0.001－200Ω.cm(可(kě)擴展)
薄(báo)層電(diàn)阻:0.01-2000Ω/口(可擴(kuò)展)
可測晶(jīng)片厚(hòu)度：≤3.00mm
2
，恒(héng)流(liú)電源(yuán):電(diàn)流分為(wéi)100mA
，1mA
，10mA
， 100ma 四檔 ；連(lián)續可調；穩定(dìng)度優(yōu)於(yú)0.3% 
3
，數字(zì)電壓(yā)表：量(liáng)程：0－199.99mV;分辨率：0.01mV精(jīng)度(dù)：±0.1%
顯示(shì)：四(sì)位半紅色(sè)發光管(guǎn)數字顯(xiǎn)示。極(jí)性
，小(xiǎo)數(shù)點(diǎn)
，超量(liáng)程(chéng)自(zì)動顯(xiǎn)示(shì)；
4
，模擬電(diàn)路測試(shì)誤差(chà)：(用(yòng)1
，10
，100
，1000 ?精(jīng)密(mì)電(diàn)阻測量)≤±0.3%±1字;
5
，整機準確度：(用0.01至(zhì)180Ω.cm矽標樣片測試)≤4%
6
，微(wēi)計算機(jī)功能(néng)：
A 鍵盤控製(zhì)測量(liáng)取數，自動(dòng)控(kòng)製電(diàn)流換(huàn)向(xiàng)和(hé)電流
，電壓(yā)探針(zhēn)的(dí)變(biàn)換(huàn)，並(bìng)進(jìn)行正(zhèng)
，反向電(diàn)流下的測(cè)量，顯示出平均值
B 鍵盤控(kòng)製數(shù)據(jù)處(chǔ)理，按(àn)內(nèi)存公式(shì)計算(suàn)出薄層電(diàn)阻(zǔ)或電阻(zǔ)率平(píng)均(jūn)值(zhí)以(yǐ)及百分變化。
C 鍵盤控製打印(yìn)全部(bù)測量(liáng)數據(jù)。包括測量(liáng)條(tiáo)件(jiàn)，各次測量平均(jūn)值
，zui大(dà)值(zhí)
，zui小(xiǎo)值(zhí)，百分變化等數據。
7
，外形(xíng)尺寸(cùn)：電氣主機(jī)：360mm×320mm×100mm； 微計(jì)算機(jī)：300mm×210mm×105mm
8
，儀器(qì)重(zhòng)量(liáng)：電氣(qì)主機(jī)：約4kg；測(cè)試架(J-2A型):約5kg;微計算機:約2.5kg;
9
，電源：AC 220V±10%,50Hz,功率<25W
10
，測(cè)試環境(jìng)：溫度23±2℃；相對濕度(dù)≤65％；無(wú)高頻(pín)幹擾(rǎo)；無(wú)強光(guāng)照射(shè)。