| RTS-5型(xíng)雙電測(cè)四探針測(cè)試(shì)儀(yí)采用(yòng)了(liǎo)四探(tàn)針(zhēn)雙(shuāng)電(diàn)測組(zǔ)合(hé)(亦稱(chēng)雙(shuāng)位(wèi)組合)測(cè)量新技術(shù),將(jiāng)範德堡(bǎo)測量(liáng)方法(fǎ)推廣應用(yòng)到(dào)直綫(xiàn)四(sì)探針上,利用(yòng)電流探(tàn)針，電(diàn)壓(yā)探(tàn)針(zhēn)的(dí)變換，在(zài)計算機控製下(xià)進行兩(liǎng)次電測量，能自動消(xiāo)除樣品幾何尺寸(cùn)，邊界效應(yīng)以及(jí)探(tàn)針(zhēn)不等距和機械(xiè)遊移(yí)等因(yīn)素對測(cè)量結果(guǒ)的影響。因(yīn)而(ér)每(měi)次測量(liáng)不(bù)必(bì)知(zhī)道探(tàn)針(zhēn)間距(jù)，樣品尺(chǐ)寸及(jí)探(tàn)針(zhēn)在(zài)樣品表(biǎo)麵上的位(wèi)置(zhì)。由於(yú)每次測量都是(shì)對(duì)幾何因素的(dí)影(yǐng)響(xiǎng)進行(háng)動態的(dí)自動(dòng)修正，因此顯(xiǎn)著降低了(liǎo)幾(jī)何因素影響，從(cóng)而(ér)提高了(liǎo)測(cè)量結(jié)果(guǒ)的準確度(dù)。所(suǒ)有這些，用目(mù)前(qián)大量(liáng)使(shǐ)用的常規四探(tàn)針測量(liáng)方(fāng)法(fǎ)所(suǒ)生產(chǎn)的(dí)儀(yí)器(qì)是(shì)無法實現的(dí)。 |
| RTS-5型雙(shuāng)電(diàn)測四探(tàn)針(zhēn)軟件測試係統是一個運行(háng)在計(jì)算機上擁(yōng)有(yǒu)友好測(cè)試(shì)界(jiè)麵的(dí)用戶程序(xù)，通過此測(cè)試程序輔(fǔ)助使(shǐ)用戶簡便地(dì)進行(háng)各(gè)項測試及獲得測試數據並對測試數(shù)據(jù)進行(háng)統(tǒng)計(jì)分析。 測(cè)試程(chéng)序(xù)控製四探針測(cè)試儀進行測(cè)量(liáng)並采集測試數(shù)據(jù)，把采(cǎi)集(jí)到的數據在計(jì)算機(jī)中(zhōng)加(jiā)以分析，然(rán)後(hòu)把(bǎ)測(cè)試(shì)數(shù)據以(yǐ)表格(gé)，圖形(xíng)直觀(guān)地記(jì)錄(lù)，顯示出來。用戶(hù)可對采集(jí)到的(dí)數據在電腦中保(bǎo)存或(huò)者(zhě)打印(yìn)以備(bèi)日後(hòu)參考和查看(kàn)，還(huán)可以(yǐ)把(bǎ)采(cǎi)集(jí)到的數據輸出到(dào)Excel中，讓用戶(hù)對數據進行各種數據分析(xī) |
技術(shù)參(cān)數(shù)：
測(cè)量範圍(wéi) | 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可(kě)擴展(zhǎn))； 方(fāng)塊電阻：0.001～20000Ω/□(可(kě)擴展(zhǎn))； 電(diàn)導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm； 電(diàn)阻：0.0001～2000Ω.cm； |
可(kě)測晶(jīng)片厚度 | ≤3mm |
可測(cè)晶片直徑(jìng) | 140mmX150mm(配(pèi)S-2A型測試(shì)台)； 200mmX200mm(配(pèi)S-2B型(xíng)測(cè)試台(tái))； 400mmX500mm(配S-2C型(xíng)測(cè)試(shì)台)； |
恒流源(yuán) | 電(diàn)流量(liáng)程(chéng)分為0.1mA，1mA，10mA，100mA四(sì)檔，各檔電流連續(xù)可調 |
數字電壓(yā)表 | 量程(chéng)及表(biǎo)示形式：000.00～199.99mV； 分辨(biàn)力(lì)：10μV； 輸入(rù)阻(zǔ)抗(kàng)：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四(sì)位半紅(hóng)色發光(guāng)管數字(zì)顯示；極性(xìng)，超量程自動(dòng)顯示； |
四探針(zhēn)探頭基(jī)本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm； 針(zhēn)間(jiān)絕緣電(diàn)阻：≥1000MΩ； 機械(xiè)遊移(yí)率：≤0.3%； 探針(zhēn)：碳(tàn)化(huà)鎢或高速鋼(gāng)Ф0.5mm； 探針(zhēn)壓(yā)力(lì)：5～16 牛頓(總力(lì))； |
四探針(zhēn)探頭應(yīng)用參(cān)數(shù) | (見(jiàn)探(tàn)頭附帶的合(hé)格證) |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤(wù)差 | 0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω小於等於0.3%±1字(zì) |
整(zhěng)機(jī)測量(liáng)zui大(dà)相(xiāng)對誤(wù)差 | (用(yòng)矽標樣(yàng)片：0.01-180Ω.cm測試(shì))≤±4% |
整機測量標準不確定(dìng)度 | ≤4% |
測試(shì)標(biāo)準 | 采用雙電測測試標準，通過(guò)RTS-5雙電測(cè)測(cè)試軟(ruǎn)件(jiàn)控(kòng)製(zhì)四探(tàn)針(zhēn)測試儀進(jìn)行(háng)測量並(bìng)實時(shí)采(cǎi)集(jí)兩(liǎng)次組合模式下的電壓(yā)值(zhí)，然後根(gēn)據雙電(diàn)測(cè)測試原(yuán)理公式(shì)計(jì)算(suàn)出(chū)電(diàn)阻(zǔ)值。儀器(qì)主機也可(kě)兼容RTS-4四探針(zhēn)測試軟(ruǎn)件實現單(dān)電(diàn)測測(cè)試標準，兩套軟件可同(tóng)時(shí)使用。 |
軟(ruǎn)件(jiàn)功能 | 軟件可記錄，保存(cún)，打(dǎ)印(yìn)每一(yī)點的測(cè)試(shì)數(shù)據(jù)，並(bìng)統(tǒng)計分(fēn)析測試數(shù)據(jù)zui大(dà)值，zui小值，平(píng)均值(zhí)，zui大百分變(biàn)化(huà)，平(píng)均百分(fēn)變化，徑(jìng)向不(bù)均匀度，並將數據生(shēng)成直(zhí)方(fāng)圖，也可把測試(shì)數據(jù)輸(shū)出到(dào)Excel中(zhōng)，對數據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析(xī)。軟(ruǎn)件(jiàn)還可選(xuǎn)擇(zé)自動測量功能(néng)，根據樣(yàng)品電(diàn)阻(zǔ)大小自動選擇(zé)適(shì)合電流(liú)量程檔測(cè)試(shì)。 |
計(jì)算(suàn)機通(tōng)訊接口(kǒu) | 並口，高(gāo)速(sù)並行采集(jí)數(shù)據。 |
標準使(shǐ)用環境 | 溫度：23±2℃； 相(xiāng)對濕(shī)度：≤65%； 無(wú)高頻幹擾； 無強光直射(shè)； |
| 配置(zhì) | 四(sì)探(tàn)針測試儀主(zhǔ)機，S-2B型探針台，FT-201四(sì)探(tàn)針(zhēn)探頭(tóu)，測試(shì)軟件(jiàn)(含測(cè)控模(mó)塊) | 19000/套 | ||||||
| 配置 | 四(sì)探(tàn)針(zhēn)測試儀主(zhǔ)機(jī)，S-2B型探針(zhēn)台，FT-201四探針(zhēn)探頭(tóu)，台(tái)式(shì)電(diàn)腦 | 24000/套 | ||||||
| 備(bèi)注(zhù) | 用戶可(kě)按(àn)實際需(xū)要(yào)選擇配置，電(diàn)腦(nǎo)可(kě)按用(yòng)戶(hù)要求以市場價(jià)配置(zhì)或(huò)自行(háng)購置(zhì)安裝(zhuāng)測(cè)試軟件即可 | |||||||
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