| RTS-9型(xíng)雙電測(cè)四探針(zhēn)測試(shì)儀(yí)采用了四探針(zhēn)雙(shuāng)電(diàn)測組合(hé)(亦(yì)稱雙位(wèi)組合(hé))測量(liáng)新(xīn)技(jì)術,將(jiāng)範德堡(bǎo)測(cè)量方法推廣應用到(dào)直(zhí)綫四探(tàn)針(zhēn)上(shàng),利用(yòng)電流探針，電壓探針的(dí)變換，在(zài)計算機(jī)控(kòng)製(zhì)下(xià)進行(háng)兩次(cì)電(diàn)測(cè)量，能(néng)自(zì)動消除(chú)樣品幾(jī)何尺寸，邊(biān)界效(xiào)應(yīng)以(yǐ)及探針(zhēn)不(bù)等距(jù)和(hé)機(jī)械遊(yóu)移等因素對測量(liáng)結果(guǒ)的(dí)影響(xiǎng)。因(yīn)而(ér)每次測(cè)量(liáng)不必(bì)知道探(tàn)針間(jiān)距，樣(yàng)品尺(chǐ)寸及探針在樣品表麵上的(dí)位置。由(yóu)於每(měi)次(cì)測量都是(shì)對幾(jī)何因(yīn)素(sù)的(dí)影響進(jìn)行動(dòng)態的(dí)自動修(xiū)正(zhèng)，因(yīn)此顯著(zhù)降低了(liǎo)幾何(hé)因素(sù)影(yǐng)響，從(cóng)而(ér)提高了測(cè)量結(jié)果(guǒ)的準(zhǔn)確(què)度(dù)。所(suǒ)有(yǒu)這(zhè)些，用目前(qián)大量使用(yòng)的常規四探(tàn)針測(cè)量方(fāng)法(fǎ)所生產的(dí)儀(yí)器是無法(fǎ)實現(xiàn)的(dí)。 |
| RTS-9雙(shuāng)電測(cè)四(sì)探(tàn)針軟件測(cè)試(shì)係統(tǒng)是一(yī)個運(yùn)行(háng)在計(jì)算機上(shàng)擁(yōng)有友好測試界麵(miàn)的(dí)用(yòng)戶程(chéng)序。測試程序(xù)在計(jì)算(suàn)機與(yǔ)RTS-9型四探(tàn)針測(cè)試儀連接的狀態下，通過(guò)計算機(jī)的並(bìng)口(kǒu)實(shí)現通訊(xùn)。 測試程(chéng)序(xù)控(kòng)製四(sì)探(tàn)針(zhēn)測試(shì)儀(yí)進行測量(liáng)並實時(shí)采集兩次(cì)組合模(mó)式下(xià)的測試(shì)數據(jù)，把(bǎ)采集到(dào)的(dí)數據(jù)在計算機中加以(yǐ)分(fēn)析(xī)，然(rán)後把測(cè)試數據(jù)以表格(gé)，圖(tú)形直觀地記錄(lù)，顯示(shì)出來(lái)。用戶可對采集(jí)到的數據(jù)在電腦(nǎo)中保(bǎo)存或(huò)者打印(yìn)以備(bèi)日後(hòu)參(cān)考和查看，還可(kě)以(yǐ)把(bǎ)采集(jí)到的(dí)數據(jù)輸出(chū)到Excel中(zhōng)，讓(ràng)用戶對數據進行(háng)各(gè)種數(shù)據分(fēn)析 |
技術(shù)參數(shù)：
測(cè)量(liáng)範(fàn)圍(wéi) | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)； 電導率：10-5～105 s/cm； 電阻：10-5～105 Ω； |
可(kě)測晶片厚度(dù) | ≤3mm |
可(kě)測晶片(piàn)直(zhí)徑(jìng) | 140mmX150mm(配(pèi)S-2A型(xíng)測試台(tái))； 200mmX200mm(配S-2B型測試台)； 400mmX500mm(配(pèi)S-2C型(xíng)測(cè)試台)； |
恒(héng)流源 | 電流量程分(fēn)為(wéi)1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA六檔，各(gè)檔電流(liú)連(lián)續(xù)可(kě)調(tiáo) |
數(shù)字電(diàn)壓表 | 量程(chéng)及表(biǎo)示形(xíng)式(shì)：000.00～199.99mV； 分辨力(lì)：10μV； 輸入(rù)阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四(sì)位(wèi)半(bàn)紅色發(fā)光(guāng)管數字顯示；極性，超量程自動(dòng)顯示(shì)； |
四(sì)探針(zhēn)探頭基(jī)本(běn)指標 | 間距(jù)：1±0.01mm； 針間(jiān)絕(jué)緣電阻(zǔ)：≥1000MΩ； 機(jī)械(xiè)遊移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢(wū)或高速(sù)鋼(gāng)Ф0.5mm； 探針(zhēn)壓力：5～16 牛(niú)頓(總力)； |
四(sì)探針探(tàn)頭應(yīng)用(yòng)參(cān)數(shù) | (見(jiàn)探(tàn)頭附帶的合格證) |
模(mó)擬電阻測量相(xiāng)對誤差(chà) | 0.01Ω，0.1Ω，1Ω，10Ω，100Ω，1000Ω，10000Ω≤0.3%±1字(zì) |
整(zhěng)機測(cè)量zui大(dà)相對誤差(chà) | (用(yòng)矽(guī)標樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試(shì))≤±4% |
整機測量(liáng)標準不確定度 | ≤4% |
測試標準 | 采(cǎi)用(yòng)雙(shuāng)電測測試(shì)標準，通過RTS-9雙電(diàn)測測試(shì)軟(ruǎn)件(jiàn)控製四探針(zhēn)測試(shì)儀(yí)進行測量並(bìng)實(shí)時采(cǎi)集兩(liǎng)次組合模(mó)式(shì)下的(dí)電(diàn)壓值，然(rán)後(hòu)根據雙電測測試(shì)原(yuán)理(lǐ)公(gōng)式計算(suàn)出電阻(zǔ)值(zhí)。儀器主(zhǔ)機也(yě)可兼容(róng)RTS-8四探(tàn)針(zhēn)測試軟(ruǎn)件實現單電測測試標準，兩套軟(ruǎn)件可(kě)同時使用。 |
軟件功(gōng)能(néng) | 軟(ruǎn)件可記(jì)錄，保存(cún)，打(dǎ)印每一點的測試(shì)數據，並統計分(fēn)析測試數(shù)據zui大值，zui小值，平均(jūn)值(zhí)，zui大百分變化(huà)，平均百(bǎi)分變(biàn)化，徑向不(bù)均匀度，並(bìng)將(jiāng)數據生(shēng)成直(zhí)方(fāng)圖，也可把測試數據(jù)輸出到Excel中(zhōng)，對數據進(jìn)行各種數(shù)據分析(xī)。軟件還可(kě)選擇自動(dòng)測(cè)量(liáng)功能，根(gēn)據(jù)樣品電阻(zǔ)大(dà)小自(zì)動選擇適合電流量程(chéng)檔(dàng)測試。 |
計算(suàn)機(jī)通訊接口(kǒu) | 並口(kǒu)，高(gāo)速(sù)並行采集數(shù)據。 |
標準使(shǐ)用(yòng)環境(jìng) | 溫度：23±2℃； 相(xiāng)對濕(shī)度：≤65%； 無高頻幹(gān)擾； 無強(qiáng)光直射； |
| 配置 | 四(sì)探針測(cè)試儀(yí)主(zhǔ)機，S-2A型探針(zhēn)台(tái)，FT-201四(sì)探(tàn)針(zhēn)探(tàn)頭(tóu)，測試軟件(jiàn)(含測(cè)控模塊(kuài)) | 23000/套 | ||||||
| 配置(zhì) | 四探針測試儀(yí)主機，S-2A型探針(zhēn)台(tái)，FT-201四探針探(tàn)頭，台式(shì)電腦(nǎo) | 28000/套 | ||||||
| 配(pèi)置 | 四探針測試儀主(zhǔ)機，S-2A型探(tàn)針台(tái)，FT-201四探(tàn)針探頭(tóu)，IBM筆記(jì)本電腦(nǎo) | 38000/套(tào) | ||||||
| 備(bèi)注 | 用(yòng)戶(hù)可(kě)按實際(jì)需要選擇配置(zhì)，電(diàn)腦(nǎo)可按(àn)用戶要(yào)求以市(shì)場價配置(zhì)或(huò)自行購(gòu)置安裝測試軟(ruǎn)件即可 | |||||||
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